Am 30. Januar 1933 wurde Göring zum Reichskommissar für die Luftfahrt ernannt, am 10. Mai 1933 das „Reichsluftfahrtministerium“ gegründet. Am 1. Mai 1933 wurden etwa 550 Fliegeroffiziere aus Heer und Marine übernommen und bildeten den Kern für eine dritte Teilstreitkraft. Das erste Rüstungsprogramm von 1933 orientierte sich an einer Denkschrift der Lufthansa und sah eine Luftflotte von ca. 600 Flugzeugen vor, dessen Schwerpunkt auf Bomberstaffeln lag. Sie war darin als Waffe gegen die europäischen Nachbarn des Reiches konzipiert, insbesondere gegen Frankreich und Polen. Frühere Rüstungsplanungen der Reichswehr hatten die Luftstreitkräfte vorwiegend als Unterstützungswaffen für Heer und Marine verstanden, basierend auf den operativen Möglichkeiten von Jagdflugzeugen. Nun sollte mit den Bombern eine selbständig operierende Führung des Luftkrieges möglich werden. Politisch wie militärisch sollten die in der Luftflotte vereinigten Bombenträger Abschreckungsfunktionen übernehmen und die Gefahr eines Präventivschlag gegen das aufrüstende Deutschland vermindern. Ende 1934 verfügten die aufgestellten Verbände für den Fronteinsatz über 270 Bomber Ju 52Do 11 , 99 Jagdeinsitzer, Doppeldecker vom Typ AR64 und AR 65 sowie 303 Aufklärungsflugzeuge. Die bedeutendsten Flugzeugwerke waren Junkers in Dessau, Heinkel in Warnemünde, Dornier in Friedrichshafen und die Bayerischen Flugzeugwerke in Augsburg. Um die Fertigungskapazitäten zu vergrößern, baute Heinkel ein weiteres Werk bei Rostock. Die industriellen Grundlagen für den Aufbau der Luftwaffe wurden erheblich verstärkt, indem eine entsprechende Zulieferindustrie aufgebaut wurde. Das nächste Programm sah bereits eine Steigerung der Monatsproduktion an Flugzeugen um ein Vielfaches vor. Bis zum 30. September 1935 sollten insgesamt 4.021 Flugzeuge an die Luftwaffe geliefert werden. Das neue Programm von 1934 trug der Erkenntnis Rechnung, dass für die Luftverteidigung der deutschen Industriezentren Jagdverbände und Flakartillerie erforderlich waren. Jagdflugzeuge für den Kampf gegen eine feindliche Luftwaffe wurden seitdem bei der Beschaffung stark berücksichtigt. und

Nach der Volksabstimmung an der Saar im Januar 1935, aber noch vor der endgültigen Rückgliederung des Saargebietes und vor der Einführung der Allgemeinen Wehrpflicht im März 1935 ordnete Reichsverteidigungsminister Blomberg am 26. Februar 1935 die schrittweise Enttarnung der Luftwaffe an, die bis dahin wegen des Verbotes des Versailler Vertrags unter Geheimhaltung aufgebaut worden war.

Bereits 1934 wurde erkannt, dass das gefertigte Fluggerät veraltet war und durch neue Typen ersetzt werden musste. Im Herbst 1936 war die Entwicklung neuer Flugzeugmotoren durch die Firmen Junkers, Daimler-Benz und BMW soweit abgeschlossen, dass sie in Serie produziert werden konnten.

1939, zu Beginn des Zweiten Weltkrieges, war die Luftwaffe eine der stärksten Luftstreitkräfte der Welt. Die Bomberflotte umfasste einschließlich der Stukas 1.542 Flugzeuge, dazu kamen 771 Jagdflugzeuge und 613 Aufklärungsflugzeuge. Gegenüber den ersten Rüstungsprogrammen, die einen Schwerpunkt bei den Bombern vorgesehen hatten, war damit die Luftverteidigungskomponente ganz erheblich verstärkt worden. Dazu kamen rund 2.600 schwere Flakgeschütze (8,8 cm) sowie rund 6.700 mittlere und leichte Flakgeschütze (3,7 und 2 cm), die feindliche Luftangriffe abwehren sollten. Damit waren die Voraussetzungen für die Luftkriegsführung im Falle eines europäischen Mehrfrontenkrieges geschaffen.

Vor allem taktische Bomber mit nur kurzer oder mittlerer Reichweite und mittlerer Bombenzuladung waren entwickelt und gebaut worden. Viermotorige Bomber wie die amerikanischen Boeing B-17 oder den britischen Avro Lancaster gab es in Deutschland anfangs nicht. Die viermotorige Focke-Wulf Fw 200 kam dem nahe, wurde allerdings weitestgehend nur als Fernaufklärer im Atlantik eingesetzt.

Eine besondere Stärke waren einerseits im Spanischen Bürgerkrieg erprobte Flugzeugtypen wie der Ju-87 und der Bf-109, andererseits neue taktische Konzepte, wie zum Beispiel die Einführung des Vier-Finger-Schwarms durch Werner Mölders.